技术编号:11912534
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及加工领域,具体是一种带保温复位补偿外压型膨胀节装置。背景技术随着人民生活水平的不断提高,继Si、GaAs之后,GaN成为第三代半导体材料,它使激光二极管和发光二极管又上了一个新台阶,但它本身不易制成体材料,必须在其他衬底材料上生长薄膜,而玉石就是其最主要的衬底材料,作为衬底材料对晶体表面有着超光滑的要求,研究表明衬底的表面加工水平决定了器件的质量,尤其是用于GaN生长的玉石衬底片的精密加工技术是目前研究的重点;目前玉石在切割前只有减薄和抛光两个粗略的步骤,而此法生产的玉石片粗糙度较大,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。