技术编号:11912783
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描电子显微镜领域,尤其涉及一种真空气氛处理装置、样品观测系统及方法。背景技术光学显微镜在使用过程中具有操作简单、待测样品制作简单、对外界环境没有严格要求等优点,因而广泛地应用于科研领域、医疗领域和工业生产领域等;但是,由于光学衍射极限的限制,导致光学显微镜的分辨率低,分辨率的极限值约为200纳米。为了获取更高的分辨率,在20世纪60年代发明了扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM),SEM的分辨率可以达到几纳米、甚至能够达到亚纳米量级。但是,电子...
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