技术编号：11915257
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种半导体材料少子寿命测量装置。背景技术随着电子工业的发展，对于材料和器件的质量有了更高的要求，对少子寿命的测量也更加重视起来。少子寿命是半导体材料和器件的一个重要参数，其中非平衡少数载流子寿命是最基本的参数之一。对半导体器件的正向压降、开关速度、发光二极管的发光效率以及光伏器件转换效率等都有影响，在材料和器件工艺研究中发挥了重要作用。关于半导体材料少子寿命测量的方法很多，上海交通大学物理系太阳能研究所报道了一种基于微波反射光电导来测量少子寿命的装置，该...
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