技术编号：11921757
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片加工装置领域，更具体的说，它涉及一种硅片承载篮翻转装置。背景技术在硅片生产过程中，硅片表面会面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗。现有的清洗设备多是先使用插片机将硅片插入承载篮中，承载篮再放入清洗设备中进行清洗。在插片过程中，硅片从承载篮侧面的敞口插入，此时硅片呈水平放置，在插片结束后，为保证不影响插片机继续进行对下一个承载篮的插片工作，需要将承载篮从插片机处移开；由于承载篮在清洗设备中时需要使其开口朝上，此时硅片为竖直放置，因此承载...
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