技术编号：11925268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及红外光源技术领域，尤其涉及一种基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法。背景技术随着红外技术研究的不断进步，红外技术大量应用于温度控制、环境监测、空间监视、高分辨率成像、气体探测等领域。目前，基于红外吸收光谱技术的气体探测系统中，红外光源的性能直接决定着气体探测的精度和灵敏度。目前商业可供选择的红外光源主要有：量子级联红外激光器、红外发光二极管和热辐射红外光源。其中红外发光二极管在红外中远波段输出的光功率很低，限制了其适用范围；而量子级联激光器由于技术复杂，制造成本高而增加了使...
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