用于集成电路的薄膜电阻设备,包括薄膜电阻设备的集成电路的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11925361

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用于集成电路的薄膜电阻设备,包括薄膜电阻设备的集成电路相关申请的交叉引用根据37CFR1.57,本申请提交的申请数据表中标识了国外或国内优先权要求的任何和所有申请在此通过引用并入本文。本申请要求于2015年11月11日提交的英国专利申请No.GB1519905.2的优先权,其全部公开内容通过引用并入本文。技术领域本公开涉及使用微电子技术制造的改进的薄膜电阻设备,以及包括这种设备的集成电路。背景技术薄膜电阻传感器用于各种应用。例如,可以使用磁阻传感器以便确定系统的两个部分之间的角度关系。这种传感器...
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