技术编号：11934939
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表皮用的支承框。背景技术在集成电路的制造工序中，包括光刻工序，在所述光刻工序中，将称作光掩膜和刻线的、绘制于玻璃基板的电路图案转印于涂覆在晶片上的保护层。在所述光刻工序中，如果粉尘等异物附着在玻璃基板上，则转印于保护层的电路图案会变得不清晰，因此，在玻璃基板上覆盖有称作表皮的防尘盖(例如，专利文献1)。表皮包括将绘制于玻璃基板的电路图案的整体包围的支承框和覆盖设置于所述支承框的正面的透光性的表皮覆膜。此外，支承框的背面粘接到玻璃基板。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特许第4...
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