技术编号：11935911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于生成可听波长谱中的声波的MEMS扬声器，其具有：载体衬底，其具有拥有两个衬底开口的衬底空腔，所述衬底开口被构造在载体衬底的两个相对的侧；执行器结构，其布置在两个衬底开口之一的区域中并且跨越该衬底开口并且在其边缘区域中与载体衬底连接；以及紧固在其边缘区域中的隔膜，所述隔膜能够借助于执行器结构为了生成声波而被置于振动中。背景技术术语MEMS表示微机电系统。在MEMS扬声器的情况下，通过被可振动地支承的隔膜进行声生成。该隔膜可以为了生成声波而通过尤其是压电执行机构被置于振动中。这样的...
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