技术编号：11937635
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于镀膜机领域，尤其涉及一种多真空室的电阻式蒸发镀膜机及其操作方法。背景技术现有的真空电阻式蒸发镀膜机，一般采用一个真空室，利用电阻加热法将待镀材料紧贴在电阻片或电阻丝上熔融汽化，从而蒸发沉积到基片上，并且每炉装取片和蒸发镀膜均在该真空室完成。由于待镀材料加热会熔融为液体，受液体向下重力影响，待镀材料需位于电阻片或电阻丝上方，并朝上方蒸发。待镀材料一般为一次性材料，每炉镀膜完成后需要换一次。现有的单一真空室电阻式蒸发镀膜机的装取片、抽真空、镀膜均在该真空室内完成，每炉装取片时镀膜室都会破真...
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