技术编号:11937640
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料涂层领域,特别涉及一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层及其制备方法。背景技术近年来,在工模具、机械零部件等产品上涂覆金属氮化物来提高产品表面性能和使用寿命的方法已经成为一种广泛应用的表面改性技术。涂层的制备技术主要有化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)两类,但是CVD技术存在反应气体会腐蚀设备、环境污染等一系列问题,因此自九十年代中期以来物理气相沉积(PVD)技术得到了迅猛发展。伴随PVD技术的进步,硬质涂层经历了第一代简单二元涂层(TiN、TiC)→第二代三元或四...
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