技术编号：11942062
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微阀，具体涉及一种用于控制气压的微阀，用于微驱动或气动微流控芯片控制等应用场合，属于微流控领域。背景技术目前，微小流量控制已成为流体控制技术的重要发展方向，在微驱动、微量注射以及微流控芯片领域成为必不可少的技术之一，目前常规的气动伺服阀/比例阀结构尺寸较大，由于阀芯所受摩擦力和阀口特性等的限制，无法实现气压微小流量的稳定控制，限制了微小流量控制的实现和应用。发明内容本发明为解决现有常规伺服阀的阀体积庞大、结构复杂、价格高、摩擦力影响微小流量控制特性的问题，进而提供一种用于控制气压的...
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