基于流路状态的微阀系统的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11942064

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本发明涉及微流控芯片领域,特别涉及基于流路状态的微阀系统。背景技术微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上,自动完成分析全过程的一种新型的工具。微流控芯片通过微机电加工技术(MEMS)在硅、石英、玻璃或高分子聚合物等基质材料上加工出微管道、微阀、微泵、微反应器、电极等功能单元,从而实现在微米尺度下对样品的各种操作。其中微阀主要负责监管芯片内各个流路的工作,调控芯片内流体的压力和运动状态,类似于城市...
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