技术编号：11942208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密驱动与控制领域，尤其涉及一种XYθ平面三自由度精密定位平台及实现方法。背景技术近年来，随着精密机械技术的发展，尤其是微纳米技术的出现，科学技术正式进入了“亚微米-纳米”时代。扫描电镜、光学仪器、精密加工等电子、光学、机械、和航天领域，迫切需要高精度、高分辨率、高速率的定位平台；而且目前对多自由度精密定位平台的需求更加急迫。例如，天文望远镜的超高分辨率和高精度转动需要多自由度的定位平台；精密光学仪器的加工和装配需要多自由度的精密定位平台；医学手术越来越多地依赖于多自由度精密操作末端执...
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