技术编号:11944381
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种内圆锥角激光干涉测量装置及方法,利用激光干涉技术高精度非接触直接测量内圆锥角,属于激光测量技术领域。背景技术在高精密机床、光学精密仪器、激光器、光束整形等领域常用到具有内圆锥面的器件,内圆锥角误差的存在将会直接影响器件的配合精度及使用寿命。其中,内圆锥角的误差是此类零件或者部件的重要评价标准。现有测量内圆锥角的方法包括直接测量法和间接测量法,前者如三坐标检测法,后者如双球测量法。“采用机械接触式实现内圆锥角测量的方法”就是一种双球测量法,该方法记载在中国计量出版社出版的《精密测量技...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。