技术编号:11944943
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用MEMS工艺制作的微型非本征光纤法珀压力传感器,具体涉及一种基于光纤法布里-珀罗(Fabry-berot)干涉原理的微型非本征光纤法珀压力传感器。背景技术目前常用的一些压力传感器都是基于电学器件的,它存在很多内在的问题没有解决,例如较大的温度依赖性,易受电磁干扰,体积大,以及在机械性能、温度持久性、精度、可靠性、长期稳定性和重复性方面不甚理想。而且不同材料间的热膨胀系数失配会导致温度敏感,影响了测量准确度。同时这种半导体传感器的寿命短,在腐蚀性环境中可靠性非常差。光纤压力传感器...
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