技术编号:11945951
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料测量与分析领域,具体涉及一种用于薄膜材料热物理特性的测量器件。背景技术随着微电子技术的不断发展,材料的薄膜化是电子信息产品小型化的必然要求。当材料微纳处于尺度下,其尺寸效应不断被放大,许多传统的块材分析技术已经无法适用,因此,器件的微型化必然离不开微纳尺度测量技术的进步。纳米量热系统便是一种新兴的对纳米尺度薄膜材料进行热物理特性测量的技术。如今在热分析仪器中,最常用的是差热分析仪。其测试主要过程如下:将差热分析仪差热电偶的两个热端分别插在对照物和被测试样中,在均匀加热的过程中,若试...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。