具有多个灵敏度范围的电-光探针的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11947693

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本公开一般地涉及测试和测量系统以及信号获取附件,以及更特别地涉及一种用于测试和测量系统的电-光探针。背景技术电-光传感器可使用马赫-曾德干涉仪作为在测试和测量系统中确定被测装置(DUT)的测得电压信号的一种方法。众所周知,电-光调制器是使用电-光材料的基板通过在基板中形成光波导并在基板的表面上沉积薄膜电极来制造的。当电极之间建立电势差时,在电-光材料基板之内创建电场,并且这影响该电-光材料的折射率。相应地,当光传播通过该光波导时,其相位和/或量值依赖所施加的电场的量值而变化,这提供了用于通过电极...
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