一种硅基微显示器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11954611

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本发明涉及半导体显示领域,尤其涉及一种硅基微显示器。背景技术硅基微显示器是将显示器与单晶硅集成电路结合,其明显特征是显示器以制备有CMOS驱动电路的单晶硅芯片为基底,二是显示器尺寸非常小,需借助一定的光学系统放大图像信息。CMOS工艺具有低成本、小体积等特点,是集成电路工业的基石。硅基微显示器像素尺寸很小,可以产生更高的显示分辨率。硅基微显示器的驱动方式分为模拟驱动和数字驱动,模拟驱动电路中的OLED像素的亮度与输入电流或电压的幅值成正比;而在数字驱动电路中,像素只工作于开态和关态,无灰度变化,...
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