技术编号:11955681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种半导体加工过程中的控制方法和系统。背景技术现有的集成电路制造工厂的信息管理方式是由一台服务器,或称主机负责硅片的管理和加工以及加工设备的管理,即以主机主导一切的信息管理方式,或者称为“主人-奴隶模式”。主机对硅片的管理和加工以及加工设备的管理,包括了硅片加工过程中的所有必要流程,以及由相关设备采集数据后的存储、处理、硅片加工所需要的程序和数据的前馈和反馈等。其中,硅片的每一步移动几乎全都需要经由主机确认,这会占用主机处理资源。尤其当半导体工艺进入20nm...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。