技术编号:11956269
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池片制备领域,尤其是涉及一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法。背景技术扩散工艺作为晶体硅太阳能电池生产工艺中的核心技术,是制作PN结的重要环节。要想制作出理想的PN结,均匀的PN结,我们就必须对扩散工艺进行深入的研究和改善,因为PN结的质量对电池转换效率的高低,具有最重要的影响。扩散炉技术的发展在很大程度上也影响着晶体硅太阳能电池技术的进步,因此,国内外目前对扩散均匀性的研究,主要体现在对扩散炉技术的改进方面。扩散工艺的改进可以提高方阻的均匀性及太阳能电池的转换效...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。