技术编号:11961600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及其电极与贯通线电连接的设备(诸如用作超声波换能设备等的电容换能器)以及这些设备的制造方法。更具体地,本发明涉及包含基板上的贯通电极的电容换能器及制造该电容换能器的方法。背景技术至今为止,已经将电容微机械超声波换能器(CMUT)作为压电设备的替代进行了研究。CMUT具有通过使用振动膜的振动来发送和接收声波(诸如超声波)以及容易地获得尤其是在液体中的优越的宽带特性的能力。在实践中,各自由按二维阵列布置的多个振动膜(或单元)构成的多个元件被布置在基板上以形成单个设备,由此实现所期望的性...
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