一种用于激光晶化装置的紧固扳手的制作方法技术资料下载

技术编号:11963657

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本实用新型涉及一种紧固装置,具体涉及一种回转体部件的紧固装置。背景技术用于制备多晶硅的ELA设备会定期的进行维护保养,其中激光管的两端的起密封作用的镜片是ELA设备较频繁的保养项目之一。保养时须将达到保养时间的较脏污的镜片拆卸下来,擦拭干净后再次装到Mount(镜片基座)里,或者直接将新的镜片装进Mount里。如图1所示,在镜片基座01的内壁上设置有环形凸台11,镜片12通过两侧缓冲垫片13安置于环形凸台上,环形的紧固固定环外壁14与镜片基座内壁设置有配合的螺纹,紧固固定环旋入镜片基座到位后,扣...
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