半导体设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11965046

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本发明涉及一种具有包括薄膜晶体管(在下文中称为TFT)的电路的半导体设备,及其制造方法。例如,本发明涉及一种以液晶显示面板为代表的电光设备,并且涉及一种具有包括有机光发射元件作为其一部分的光发射显示设备的电子装置。应当注意,半导体设备意指可以通过利用半导体特性执行功能的任何设备。电光设备、半导体电路和电子装置均是半导体设备。背景技术近年来,使用在具有绝缘表面的基板上形成的半导体薄膜(厚度约为数纳米到数百纳米)制造薄膜晶体管(TFT)的技术广受关注。该薄膜晶体管广泛地应用于电子设备,诸如IC和电光...
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