技术编号：11970953
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及改善对等离子体阻抗的改变的响应时间，更具体地涉及用于基于状态的功率和频率调节的装置、方法和计算机程序。背景技术在一些等离子体处理系统中，多个射频（RF）信号被提供给等离子体室中的一或多个电极。RF信号帮助在等离子体室内生成等离子体。该等离子体被用于各种操作，例如，清洁位于下电极上的衬底、蚀刻该衬底，等等。在产生RF信号的RF供应器和等离子体室之间，通常设置了阻抗匹配电路。阻抗匹配电路使负载（例如等离子体室内的等离子体）的阻抗与源（例如RF功率供应器）的阻抗相匹配。但是，在某些...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。