技术编号：11971827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以高效和可靠方式制造包括可以相互很不相同的若干相异微光学部件的三维光子器件的方法。背景技术在制造包括若干相异微光学部件的三维光子器件时，微光学部件相互越不相同，就越难以以高效和可靠方式在单个器件中集成它们。实际上，具有自由空间微光学部件和微机械结构的光学波导的集成是主要技术问题，因为必须实现高定位精度、成本效率、高产量和可靠性。集成方案也应当与多种光学和机械设计兼容。与这些条件匹配的方法可以为片上模式的工程、光学部件与平面内和平面外部件的低损耗耦合以及用于封装的精确对准铺路。经常使用混...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。