技术编号：11972514
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及具有对键合进行保护的微机电器件，以及涉及用于制造微机电器件的工艺。背景技术众所周知，近年来已经研发用于在传感器(加速度计、陀螺仪、压力传感器)领域和机械和流体致动(微电机、微泵)领域中的各种不同应用的微机电系统(也被称为MEMS器件)。该类型器件被例如广泛应用于诸如便携式计算机、膝上型笔记本或超极本、PDA平板电脑、蜂窝电话、智能手机、数字音频播放器、照相机或摄像机、以及视频游戏手柄之类便携式电子设备，从而在占用空间、面积和厚度以及消耗水平方面获得显著优势。在多数情形下，MEMS器件包...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。