技术编号：11973447
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem，MEMS）器件的电磁力驱动器，特别涉及一种驱动电压低、能量损耗小的微型MEMS电磁力驱动器。背景技术驱动器是自动控制、机器人等领域的基础单元器件。其中，工作在射频波段的驱动器作为集成电路的开关，成为射频信号处理电路的基本元件之一。以前，射频驱动器通常采用P-I-N二极管或砷化镓金属-半导体场效应管来实现。但是，随着频率增长，这类半导体驱动器表现出信号损失和能量损耗的缺陷。近年来，射频MEMS驱动器由于插入损耗...
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