技术编号:11975048
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微纳加工技术领域,具体涉及一种不同高度微纳米柱衬底制备装置。背景技术微纳加工技术在制备各种微器件、微结构中是一种十分重要的技术,微纳结构模板的制备在微纳加工中和对先进制造技术的发展中具有重要意义,随着微纳加工技术的日渐成熟和微结构模板在各种领域的研究和应用越来越广,不同微结构模板越来越多的得到应用。因此,如何高效精确的制作微纳结构模板,是当前微纳加工技术和先进制造技术的重要课题。传统的微纳加工技术一般是在二维的衬底上面制备微纳结构,这些微纳米结构高度是一致的,如果要在平面衬底上面制...
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