技术编号：11975066
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多晶硅铸锭炉中的溢流保护结构，特别涉及一种当液态硅料从坩埚中溢流到多晶硅铸锭炉中后可被有效安全隔离的溢流隔离装置，以防止液态硅接触金属炉壁后，铸锭炉发生爆炸事故。背景技术目前，多晶硅铸锭是使用陶瓷石英坩埚进行生产的，先将硅料放入到陶瓷石英坩埚中，再将陶瓷石英坩埚放入到多晶硅铸锭炉中，通过加热使硅料熔化。搬运及装料中的磕碰，会使陶瓷石英坩埚的内部产生隐蔽裂痕，这些隐蔽裂痕通常不被发现。在多晶硅铸锭过程中，陶瓷石英坩埚盛载有高温液态硅料，若石英坩埚的内部存在隐蔽裂痕时，熔化的高温液态硅...
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