技术编号：11982146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及四氯化硅分装(充装)领域，特别涉及一种电子级四氯化硅的分装装置。背景技术电子级四氯化硅作为原子层沉积二氧化硅的源材料之一，同时四氯化硅是一种无色、具有腐蚀性，令人窒息的臭味，遇水汽产生氯化氢，其罐装时需要确保系统是绝对密封，否则会产生安全事故。同时四氯化硅的纯度对沉积薄膜的质量会产生直接影响。又如专利公布号为CN201735306U公开了一种四氢呋喃尾气的回收装置，包括尾气洗涤回收罐和离心泵，在尾气洗涤回收罐中设置有用鲍尔环装填的填料层。尾气洗涤回收罐连接到精馏塔顶部，接收精馏塔排...
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