技术编号:11987038
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子封装技术领域,具体是一种微机械加速度计封装用陶瓷外壳。背景技术微电子机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem—MEMS)是集微型机构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路,直至集接口、通信与电源于一体的微机电系统,它可以将物理信号转换为电学信号或将电学信号转换为物理信号,实现从信号取样、处理到执行的整体集成。作为最成熟的惯性传感器应用,现在的MEMS加速度计有非常高的集成度,即传感系统与接口线路集成在一个芯片上。虽然MEMS加速度计封装技术与微...
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