技术编号：11987668
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种光刻机中的反射镜固定装置。背景技术在精密光学仪器制造领域，光路设计过程中，经常使用平面反射镜来改变光线的偏转角度，达到改变光路方向，布局成像光学器件、压缩空间或分割光束等目的，在光学机械设计过程中，因反射镜在光路的角度误差，会引入光轴两倍的成像误差，所以精密仪器对于光学平面反射镜的安装定位以及面型精度有较高的要求，特别在光刻机对准和调焦光电检测系统中，往往要求结构紧凑空间实现高精度高可靠性的固定安装。通常对于反射镜的固定安装采用以下几种方式：一、采用点胶...
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