技术编号:11990246
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空腔体设备技术领域,具体为一种实用性强的无磁真空腔体。背景技术真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的,而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应,抽气时间、稳定时间缩短等等。传统的无磁真空腔体的功能比较单一,而且无磁真空腔体没有设置有加热带,不能将无磁真空腔体内的轻体完全抽取出来,同时不能检测到无磁真空腔体内的具体压力大小,容易造成腔体损坏的现象。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种实用...
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