技术编号:11992219
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳操作装置技术领域,特别涉及一种体积小、精度高、运动范围大、适用性广的微纳操作装置。背景技术利用光学显微镜或电子显微镜可以观察到材料的表面形貌,其分辨率可达到微米、纳米级别。在研究材料表面形貌的同时,近年来材料研究者越来越关注对于所观察到的微纳米材料,利用微操作手进行操控和力学、电学性能等的测试和研究。用于扫描电镜的微操作装置在国际上市场上只有几个公司的产品,KleindickKanorochnik,KlockeNanotechnik,Omiprobe和Zyvex等公司,其步长达到纳...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。