技术编号：12003635
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于数控机床精度检测领域，具体涉及一种激光干涉仪检测大型数控机床精度时干涉镜调整平台。背景技术激光干涉仪，利用迈克耳逊干涉系统测量位移，以稳频氦氖激光为光源，配合折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，常作为测量仪器和高精密数控机床的精度校正工作。激光干涉仪系统构成由激光头、干涉镜、反射镜三个最基本构成；经激光发射器进入干涉镜、反射镜的一路或多路激光必须保证空间内平行，调光时，干涉镜在水平平面、垂直平面内偏摆、俯仰调整至关重要，角度不合将造成...
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