一种基于MEMS的大流量流量计的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12003724

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本实用新型涉及燃气计量领域,特别是一种基于MEMS的大流量流量计。背景技术目前,电子燃气流量计量装置已逐渐在家用领域得到了普及,但在一些燃气流量较大的应用场合,传统的家用燃气表如一些基于MEMS的燃气表由于其测量流道体积结构的限制,不能完全适用,而如果仅仅是将家用燃气表的测量流道比例放大以让其适应大流量领域(大流量领域指平均流量超过6000L/h时,本实用新型针对该领域),流量计中的流道尺寸虽然会大幅增加,但却会使得测量精度大幅度降低。实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对传统家用MEMS流量...
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