技术编号：12007423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用相关申请的交叉引用本申请涉及于2011年12月16日提交的、名称为“纳米探针执行器(NanoProbeActuator)”的序号为61/576,455的美国专利临时申请，并且要求该申请的优先权，该申请的内容被通过引用方式全部并入于本申请。政府权益陈述形成本申请所述实施例以及在本申请中要求保护的发明的研究是由美国国家科学基金会基于合作协议DMR1120296进行资助的。美国政府对于在本申请中要求保护的发明具有权益。技术领域本发明总体涉及纳米尺度...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。