点阵结构的声表面波谐振器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12008379

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本发明涉及一种可以消除高阶横波模式干扰的声表面波谐振器,以实现优化频率响应,属于信号与信息处理领域。背景技术谐振器型声表面波(SAW)滤波器,由于其性能好、体积小、成本低,易于批量生产等特点,被广泛应用于电信领域中。一般SAW谐振器,是在压电基片表面溅射金属叉指换能器(InterdigitalTransducer,IDT)、和金属栅阵。但是,SAW谐振器结构中,叉指换能器为有限长的声孔径,会产生各种声波衍射效应。文献“Analysisofgeneralplanarwaveguideswithns...
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