技术编号：12009307
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于去除光刻胶的剥离液和相关的应用工艺，特别是用于剥离工艺的光刻胶的去除。背景技术光刻胶是一种感光材料，由感光树脂、感光剂和溶剂三部分组成的混合液体。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，光刻胶便能形成所需图像，主要应用于微电子制造领域。例如在半导体器件、液晶装置和集成电路中，需要利用光刻胶在基片上进行涂布、曝光等一系列步骤完成刻蚀技术，其作用是将需要刻蚀的图形从掩膜板上转移到...
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