技术编号：12020912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶圆转移装置。背景技术晶圆生产过程中，涉及多种处理工艺。通常为了大规模生产的需要，多片晶圆放置在一个料盒中同时处理。料盒需要适应各个工序的处理装置。但在实际生产过程中，即使是同一晶圆的料盒，在各处理工序使用的料盒尺寸不同。因此，这就决定了在整个处理工艺过程中，需要将晶圆从一个料盒转移到另一个料盒中。现有技术中，依靠工人人工转移晶圆，不仅劳动强度大，效率低，而且生产成本高，难以适应大规模生产的需要。实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种可代替人工的晶圆转移...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。