技术编号:12032970
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力检测技术领域,特别是涉及一种压力传感器及其制作方法、电子器件。背景技术压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境。现有的压力传感器多为力学传感器,如:压阻式压力传感器、电容式压力传感器,通过将压力信号转换为电信号,来实现对压力大小的检测。为了克服现有的压力传感器种类单一的局限,本发明人提出一种新的压力传感器。发明内容本发明提供一种压力传感器及其制作方法、电子器件,用以提供一种的新的压力传感器。为解决上述技术问题,本发明实施例中提供一种压力传感器,包括:...
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