技术编号:12033239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种光阻管路的气泡检测装置及检测方法。背景技术在光刻工艺过程中,光阻管路中气泡的存在会影响光阻的喷量从而影响涂布质量,同时气泡的存在也会产生微气泡类缺陷(micro-bubble),严重影响光刻工艺的良率。随着关键尺寸的持续缩小,微气泡类缺陷(micro-bubble)的危害变得更为严重,需要对这种缺陷进行在线实时管控,并提高气泡检测的精度。在现有涂布显影机台(Track)中,气泡的检测和管控有两种方式:一种是肉眼观测法,即设备工程师在安装光阻初期或者日常维护时...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。