一种束流在线电荷极性转换装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12036236

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本发明属于离子束操纵技术领域,具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置。背景技术现代科学装置或生产设备中,常常要实现对低能正离子束的电荷极性进行转换,例如:串列加速器中,为实现离子的二次加速,需向其注入负离子束,而负离子源产生的离子种类和流强受限,往往需要将离子源产生的正离子束的极性转换为负离子束才能满足串列加速器的注入要求。它的原理是带电离子束以一定速度进入一定浓度的工艺气体中与工艺气体的气体原子碰撞,在碰撞的过程中气体原子失去电子,正离子获得电子,离子与气体原子发生电荷交换,经过至少两次碰撞离子...
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