技术编号：12036398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于晶圆级真空封装吸气剂的电-热复合激活装置技术领域本发明涉及一种吸气剂的激活装置，尤其是一种用于晶圆级真空封装吸气剂的电-热复合激活装置。背景技术现有技术中，采用晶圆级真空封装制造的传感器需要工作在高真空、高洁净的环境下。为了满足传感器工作环境需求，通常将传感器封装于密闭腔体内并在密闭腔体内设置杂质吸附器件，例如吸气剂，用来吸收封装腔体内部缓慢释放的气体等污染物，维持内部高真空环境。目前，吸气剂普遍采用薄膜、柱状、片状等形态，在使用前需要将吸气剂加热充分激活后才能够正常使用。发明内容本发明的目...
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