技术编号：12038741
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种陀螺仪（或加速度计）的温度补偿方法。背景技术陀螺仪是决定惯性系统精度的核心部件，其中近年来快速发展的硅微机械陀螺是一类难度较大的微机电系统（MEMS），是属于硅的微机械加工与陀螺仪理论相结合的产物。一个性能优良的高精度微陀螺仪，不仅要尽量减少振动质量块与检测质量块与衬底之间的连接锚点，还要尽量减少振动质量块与检测质量块之间的机械耦合。下面以一种单支点角振动式MEMS陀螺为例进行说明。图1所示为一种单支点角振动式MEMS陀螺的结构，该结构由一个驱动外环和一个检测内盘组成。驱动外环通过...
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