技术编号:12040969
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种陀螺仪背景技术陀螺仪可以检测物体倾斜的角度和方向,并且已经运用于诸多领域,如轮船、飞机等。而在微电子机械系统(MEMS)技术不断进步的情况下,许多纳米级的小型陀螺仪将被商业化广泛应用于汽车、机器人、手机、移动设备等领域。与传统的陀螺仪不同,MEMS陀螺仪并没有旋转部件,也不需要轴承。MEMS的陀螺仪采用了振动物体传感角速度的概念。利用振动来诱导和探测科氏力。例如公开号为CN101180516的中国发明专利申请,其利用驱动器对多个质量块以X方向进行加速,当陀螺仪在...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。