技术编号：12050451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械手应用领域，尤其涉及一种提高机械手示教效率的方法。背景技术目前，在很多制造业中多采用机械手实现生产制造的自动化。半导体制造业也不例外，其中的很多制造环节都需要机械手自动完成硅片的传输工作。在硅片的曝光过程中就需要机械手从不同的片库中取片和放片完成传输工作。这些不同的片库包括废片库、收片库、供片库。不同片库中都包含数个可存片的槽，片库的安装方式有发散状和非发散状两种。对片库的示教方式根据片库的安装方式也分为发散状和非发散状。传统的示教方法都是在安装机械手后进行一次校准，确定一主坐标系...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。