技术编号：12052567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电子元件拾取装置，特别是一种臂体可相对本体摆动的电子元件拾取装置。背景技术为了减少污染及提高产量，半导体产业常利用搭载机械手臂的拾取装置来搬运硅晶圆或电子晶片等工作件，以便进行后续的加工制程或是电性测试。一般而言，拾取装置的机械手臂是固定于一基座上，并且基座安装于一直线导轨。拾取装置透过马达传动直线导轨以控制机械手臂沿垂直方向的行程大小。当使用者要调整机械手臂沿垂直方向的位置时，需同时移动机械手臂和基座以改变机械手臂的位置。然而，常见的机械手臂透过搭载大量外部构件以连接于马达，使得...
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