技术编号：12052972
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统执行器领域，涉及一种静电驱动结构及其制作方法。背景技术微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem，MEMS)是由电子和机械组成的集成化器件或系统，通常包括传感器，执行器和处理电路三部分。静电驱动控制着电能到机械能的转化，同时也是最常见，最典型的驱动形式，广泛应用于微陀螺，微镜阵列，微谐振器和射频开关等MEMS器件。静电驱动是利用电荷间的吸引力和排斥力的相互作用驱动电极而产生平移或旋转的运动方式。通过在电极上施加简单的电压信号，就可以控制微结构的运动，...
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