技术编号：12057000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种反应腔室。背景技术在半导体制造工艺中，通常需要利用机械手将承载有衬底的托盘在装载腔室和反应腔室之间传输，该传输过程涉及大量互锁，主要目的是保护人身和设备安全。在机械手将托盘传入反应腔室之前，不仅需要判断机械手是否取片成功，以及机械手上是否有托盘，还需要判断反应腔室内是否有托盘，目前的半导体加工设备主要是依靠软件系统的记录来判断反应腔室内是否有托盘。图1为现有的半导体加工设备的传片流程图。由图1可以看出，在机械手将托盘传入反应腔室之前，首先利用软件系统判断...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。